説明:
MKS Diaphragm Valvesは、高純度ガス、真空、および重要流体プロセス産業向けに特別に開発された、精密設計の遮断および絞り制御バルブであり、半導体、真空コーティング、バイオテクノロジー、ファインケミカル分野におけるMKSの数十年にわたる精密流体制御技術に由来します。コアとなるダイヤフラム隔離構造を採用し、柔軟なダイヤフラムがプロセス媒体をアクチュエータおよび内部可動部品から完全に分離することで、外部漏れゼロ、超クリーンな流路、ならびに高精度なオン/オフおよび比例流量制御を実現し、MKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、およびプロセス制御システムと広く組み合わせることで、産業用流体ソリューション一式を提供します。
主要仕様:
- ダイヤフラム隔離設計により外部漏れリスクを排除し、滑らかでデッドスペースのない内部流路が粒子の蓄積を防ぎ、超高純度ガスおよび衛生的生産基準を満たし、クリーンルームおよび半導体ウェハ製造に最適です。
- 選択可能なダイヤフラム材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE。イナートガス、腐食性化学ガス、高純度液体、溶剤および低粘度スラリーに対応し、-10℃から150℃までの動作温度に対応する高温プロセスモデルに適合します。
- 純正MKS制御ドライバおよび流量センサーと組み合わせることで、高精度の閉ループ流量/圧力調整を実現し、調整可能な流量範囲は0.1sccm〜50000sccmをカバーし、優れた低流量制御安定性を備え、最小制御流量はフルスケールの0.1%まで可能です。
- 手動、電磁式、空気圧作動(ノーマルオープン/ノーマルクローズ)で利用可能。端部接続はVCR、KFフランジ、NPTねじ、ISO標準フランジに対応し、世界の主要配管規格に適合します。
- ダイヤフラムは迅速交換可能で、バルブ全体を分解する必要がありません。コンパクトなオールインワン構造により予備部品コストと装置のダウンタイムを削減し、頻繁な切替条件下でも高い耐疲労サイクル性能を発揮します。
- 厳格なリークテストを工場出荷前に実施し、コーティング、蒸着、および薄膜堆積装置における高/超高真空配管遮断用途に適用可能です。
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。
Q2:お支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包で強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を使用しています。防湿・耐衝撃仕様です。