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新品 Lam Research 810-495659-308 ESC電源基板

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
810-495659-308
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明：

これはLAM Research Electrostatic Chuck (ESC)用の純正OEM電源基板であり、半導体エッチャーおよび成膜システムにおける重要なコンポーネントです。真空チャンバー内で静電力によりウェハーを確実に固定するための安定した高直流電圧を供給します。高品質の電子部品と耐干渉回路設計により、高真空・高温・強いRF干渉下でも優れた性能を維持し、24時間365日の連続稼働において一貫したウェハーポジショニングと安定した生産歩留まりを実現します。半導体ファブ装置の保守における信頼性の高い交換部品です。

主な仕様：

LAM Researchのエッチング、CVDおよびPVD装置と完全互換。工場で厳密にテストおよびキャリブレーションされ、完璧な適合性を確保。
超低リップルと安定した電流出力を実現。クローズドループ制御によりRF干渉を補正し、一定のチャック力を維持。
過電圧、過電流、過温度およびアーク検出保護を搭載。ワークおよび装置を保護するため、電源を瞬時に遮断します。
過酷なクリーンルームおよび真空環境向けに最適化されており、振動・熱・電磁干渉に耐性を持ち、長寿命を実現します。
標準構造と専用インターフェースにより直接交換が可能で、装置のダウンタイムと保守コストを大幅に削減します。

主な用途：

LAM Researchプラズマエッチングシステム
CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
200mm / 300mmウェハー真空プロセスチャンバー
半導体生産ラインの保守およびスペアパーツ交換

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い確認後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性