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新品 Lam Research 810-495659-304 ESC電源基板

新品 Lam Research 810-495659-304 ESC電源基板

新品 Lam Research 810-495659-304 ESC電源基板

高精度、安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり&世界中への迅速な配送

  • 商品番号:

    810-495659-304
  • 注文(MOQ):

    1
  • 支払い:

    100% T/T
  • 製品の起源:

    USA
  • 色:

    As Model
  • 出荷港:

    Xiamen
  • リードタイム:

    2-3 days
  • 製品詳細

説明:

これは、半導体エッチャーや成膜システムにおいて重要な部品である、LAM Research Electrostatic Chuck (ESC) 用のオリジナルOEM電源ボードです。真空チャンバー内で静電力によりウェーハをしっかり固定するための安定した高電圧DCを供給します。高品質電子部品と耐干渉回路設計で構成されており、高真空、高温、強いRF干渉下でも優れた性能を維持し、24時間365日の連続運転中でもウェーハの位置保持と生産歩留まりの安定を保証します。半導体製造装置のメンテナンスにおける信頼性の高い交換部品です。
 
 
 
主な仕様:
  1. LAM Research のエッチング、CVD、PVD 装置と完全互換。工場で厳密にテストおよび校正済みで完璧な適合性を実現。
  2. 超低リップルかつ安定した電流出力を特徴。閉ループ制御でRF干渉を打ち消し、一定のクランプ力を保持。
  3. 過電圧、過電流、過温度およびアーク検出保護を装備。ウェーハと装置を保護するため、瞬時に電源を遮断。
  4. 過酷なクリーンルームおよび真空環境向けに最適化され、振動、熱、電磁干渉に強く、長寿命を実現。
  5. 標準構造と専用インターフェースにより直接交換が可能で、装置のダウンタイムやメンテナンスコストを大幅に削減。
 

 

典型的な用途:

  1. LAM Research プラズマエッチングシステム
  2. CVD、PVD、および ALD 薄膜成膜装置
  3. 200mm / 300mm ウェーハ用真空処理チャンバー
  4. 半導体生産ラインのメンテナンスおよび交換部品

 

 

よくある質問:

Q1: 製品の状況と保証はどうなっていますか?
A: 完全新品の正規品。1年間の保証付き。

Q2: 支払い条件は?
A: T/T、Paypal 対応。

Q3: 製品の納期は?在庫は十分ですか?
A: 標準モデルは在庫あり。支払い後3~5営業日で発送。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4: 配送と追跡
A: DHL / FedEx / UPS 利用可能。発送後に追跡番号とリンクを提供。弊社チームが全過程を監視。

Q5: 梱包と安全性

 

A: オリジナルブランドの梱包で補強保護付き(フォーム、密封段ボール、精密機器用木箱)。湿気・衝撃に耐性あり。

 

 

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