説明:
LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計された純正OEMのコアプリント基板アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ収集、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術により製造され、優れた耐EMI・耐振動・低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での長期安定動作を維持し、ウェーハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- インピーダンス制御を備えた高級多層PCBレイアウトで、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
- 産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C~+85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24時間365日のファブ連続稼働に対応します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを備え、装置のダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワー、およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が付いています。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、入金後3~5営業日で出荷します。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期はカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応しています。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包で強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を使用しています。防湿・耐衝撃仕様です。