説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中核制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術に基づいて製造されており、優れた耐EMI・耐振動・低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェハプロセス精度およびファブの生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に適合します。
- 高品質な多層PCBレイアウトによりインピーダンス制御を実現し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を備え、高周波RF信号およびプロセスチャンバー内の微弱センサー信号処理に最適化されています。
- 産業グレードの車載用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C~+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24/7のファブ連続稼働に対応します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボ駆動ユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主力エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータインタラクション
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年保証付きです。
Q2:お支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応です。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3~5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4:配送&追跡
A:DHL/FedEx/UPS対応。発送後に追跡番号+リンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包&安全性
A:オリジナルブランド梱包で強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)。防湿・耐衝撃仕様です。