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新品 Lam Research 778-900046-353 温度制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中への迅速配送

商品番号:
778-900046-353
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

Lam Research Temperature Control Board は、半導体エッチング、デポジション、ウェーハ処理システムにおけるコアの熱管理コンポーネントです。高精度のマルチチャネル温度制御を提供し、プロセスチャンバー、静電チャック（ESC）、ウェーハステージ全体で厳密な熱均一性を維持します。高真空、高温、プラズマ環境での24/7運転向けに設計されており、一貫したウェーハ温度を確保し、プロセスレシピを安定化し、生産歩留まりを最大化します。純正Lam OEMボードは、プラグアンドプレイ互換性、精密キャリブレーション、そして先端ノード（2nm/3nm）半導体ファブ向けの長期信頼性を保証します。

主な仕様：

Original Lam Research PCBアセンブリ。Kiyoエッチャー、ExALプラットフォーム、およびCVD/PVDシステムと完全互換。工場でキャリブレーションおよびテスト済みで、シームレスな統合を実現。
16–24チャンネル（Pt100 RTD/熱電対入力）に対応；オートチューニングPIDアルゴリズムにより25–150°C範囲で±0.1°Cの安定性を実現。
加熱/冷却（TEC互換）のクローズドループ制御；500Hzサンプリングによるリアルタイムセンサー・フィードバック；周囲ドリフトおよびセンサー遅延の補償。
真空対応（≤1×10⁻⁶ Torr）、EMIシールド済み、耐振動性；プラズマおよびRF干渉耐性を備え、0–55°Cで安定動作。
モジュール式のホットスワップ対応設計で迅速な交換が可能；温度、センサー状態、故障ログのオンボード診断を搭載；予期しないダウンタイムを削減。

主な用途：

Lam Researchプラズマエッチングシステム（Kiyo、ExAL、9000シリーズ）
CVD/PVD/ALD薄膜デポジション装置
200mm / 300mmウェーハプロセスチャンバーおよびESC
先端ロジック/メモリファブ（2nm/3nmノード）
半導体ファブのメンテナンス、スペアパーツおよびアップグレード

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間保証付き。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3–5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。追跡番号＋リンクは出荷後に提供されます。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性