電子メール : fxmkfm999@163.com

日本語

何を探していますか?

シスコの電源純正圧力スイッチオリジナルサーボモーターファーウェイスイッチオリジナル遠心ファン三菱CPUモジュールアレン・ブラッドリー AC ドライブ新しいオリジナルACドライブ安川サーボモーターオリジナルPLCモジュール

家その他

新品 Lam Research 778-900046-301 温度制御ボード

高精度、安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
778-900046-301
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

今すぐ問い合わせる

カテゴリー

どのようにお手伝いできますか

ご都合のよい方法でご連絡いただけます。電子メールまたは電話で 24 時間 365 日対応いたします

お問い合わせ

新製品

製品詳細

説明:

Lam Research 温度制御ボードは、半導体エッチング、成膜、およびウェーハ処理システムにおける中核的な熱管理コンポーネントです。プロセスチャンバー、静電チャック（ESC）、およびウェーハステージ全体で厳密な熱均一性を維持するため、高精度のマルチチャンネル温度制御を提供します。高真空、高温、およびプラズマ環境下での24時間365日の稼働を想定して設計されており、一貫したウェーハ温度を確保し、プロセスレシピを安定化させ、生産歩留まりを最大化します。純正Lam OEMボードは、プラグアンドプレイ互換性、精密なキャリブレーション、および先端ノード（2nm/3nm）半導体ファブにおける長期的な信頼性を保証します。

主な仕様:

純正Lam Research PCBアセンブリであり、Kiyoエッチャー、ExALプラットフォーム、およびCVD/PVDシステムと完全互換。工場でキャリブレーションおよびテスト済みで、シームレスな統合を実現します。
16～24チャンネル（Pt100 RTD/熱電対入力）をサポート；オートチューニングPIDアルゴリズムにより25～150°C範囲で±0.1°Cの安定性を実現します。
ヒーティング／クーリングのクローズドループ制御（TEC互換）；500Hzサンプリングによるリアルタイムセンサー・フィードバック；周囲ドリフトおよびセンサー遅延の補正機能を備えています。
真空対応（≤1×10⁻⁶ Torr）、EMIシールド、耐振動設計；0～55°C環境で安定動作し、プラズマおよびRF干渉にも耐性があります。
モジュール式のホットスワップ対応設計で迅速な交換が可能；温度、センサー状態、故障ログのオンボード診断機能を搭載し、計画外ダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lam Research プラズマエッチング装置（Kiyo、ExAL、9000シリーズ）
CVD/PVD/ALD薄膜成膜装置
200mm / 300mm ウェーハプロセスチャンバーおよびESC
先端ロジック／メモリファブ（2nm/3nmノード）
半導体ファブの保守、スペアパーツおよびアップグレード

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3～5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー発注が必要ですので、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性