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新品 Lam Research 778-900046-323 温度制御基板

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
778-900046-323
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

Lam Research温度制御ボードは、半導体エッチング、成膜、およびウェーハ処理システムにおける中核的な熱管理コンポーネントです。プロセスチャンバー、静電チャック（ESC）、およびウェーハステージ全体で厳密な熱均一性を維持するため、高精度・マルチチャンネルの温度制御を提供します。高真空・高温・プラズマ環境での24時間365日の連続稼働向けに設計されており、安定したウェーハ温度を確保し、プロセスレシピを安定化させ、製造歩留まりを最大化します。純正Lam OEMボードは、プラグアンドプレイ互換性、精密なキャリブレーション、そして先端ノード（2nm/3nm）半導体ファブにおける長期的な信頼性を保証します。

主な仕様:

Lam Research純正PCBアセンブリであり、Kiyoエッチャー、ExALプラットフォーム、およびCVD/PVDシステムと完全互換です。工場でキャリブレーションおよびテスト済みで、シームレスな統合を実現します。
16～24チャンネル（Pt100 RTD/熱電対入力）をサポート；オートチューニングPIDアルゴリズムにより25～150°C範囲で±0.1°Cの安定性を実現します。
加熱／冷却のクローズドループ制御（TEC対応）；500Hzサンプリングによるリアルタイムセンサー・フィードバック；周囲ドリフトおよびセンサー遅延の補正機能を備えています。
真空対応（≤1×10⁻⁶ Torr）、EMIシールド、耐振動設計；0～55°C環境で安定動作し、プラズマおよびRF干渉にも耐性があります。
モジュール式ホットスワップ対応設計により迅速な交換が可能；温度、センサー状態、故障ログのオンボード診断機能を搭載し、予期しないダウンタイムを削減します。

主な用途:

Lam Researchプラズマエッチング装置（Kiyo、ExAL、9000シリーズ）
CVD/PVD/ALD薄膜成膜装置
200mm / 300mmウェーハプロセスチャンバーおよびESC
先端ロジック／メモリファブ（2nm/3nmノード）
半導体ファブの保守、スペアパーツおよびアップグレード

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようなものですか？
A:新品の純正品です。1年間の保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要ですので、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送・追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全工程を当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性