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新品 Lam Research 778-900046-203 温度制御基板

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
778-900046-203
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

Lam Research 温度制御ボードは、半導体のエッチング、成膜、およびウェーハ処理システムにおける中核的な熱管理コンポーネントです。プロセスチャンバー、静電チャック（ESC）、およびウェーハステージ全体で厳密な熱均一性を維持するため、高精度なマルチチャンネル温度制御を提供します。高真空・高温・プラズマ環境での24時間365日の稼働向けに設計されており、安定したウェーハ温度を確保し、プロセスレシピを安定化し、生産歩留まりを最大化します。純正 Lam OEM ボードは、プラグアンドプレイ互換性、精密なキャリブレーション、および先端ノード（2nm/3nm）半導体ファブ向けの長期信頼性を保証します。

主な仕様：

純正 Lam Research PCB アセンブリであり、Kiyo エッチャー、ExAL プラットフォーム、および CVD/PVD システムと完全互換。工場でキャリブレーションおよびテスト済みで、シームレスな統合を実現します。
16～24チャンネル（Pt100 RTD／熱電対入力）をサポートし、オートチューニングPIDアルゴリズムにより25～150°C範囲で±0.1°Cの安定性を実現します。
加熱／冷却（TEC互換）のクローズドループ制御。500Hzサンプリングによるリアルタイムセンサーフィードバックを備え、周囲ドリフトおよびセンサー遅延を補償します。
真空定格（≤1×10⁻⁶ Torr）、EMIシールド済み、耐振動性あり。0～55°Cで安定動作し、プラズマおよびRF干渉に対する耐性を備えています。
モジュール式のホットスワップ対応設計により迅速な交換が可能。温度、センサー健全性、故障ログのオンボード診断を備え、計画外ダウンタイムを削減します。

代表的な用途：

Lam Research プラズマエッチングシステム（Kiyo、ExAL、9000シリーズ）
CVD/PVD/ALD 薄膜成膜装置
200mm／300mm ウェーハプロセスチャンバーおよびESC
先端ロジック／メモリファブ（2nm/3nmノード）
半導体ファブのメンテナンス、スペアパーツおよびアップグレード

FAQ：

Q1：製品の状態と保証はどうなっていますか？
A：新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、PayPalに対応しています。

Q3：製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫があり、支払い後3～5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL／FedEx／UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全工程を当社チームが監視します。

Q5：梱包と安全性