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新品 AMAT 0190-37120 ESC電源装置

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
0190-37120
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

AMAT ESC Power Supplyは、Applied Materialsの半導体装置におけるElectrostatic Chucks（ESC）専用に設計された高電圧・高精度電源です。エッチング、成膜、イオン注入プロセス中にウェーハを確実に固定するため、安定した双極性DC高電圧を供給し、極めて均一な温度およびプラズマ制御を実現します。重要なOEMスペアパーツとして、AMATの200mm/300mmウェーハ処理システムと完全互換性を持ち、高真空・高温・RFプラズマ環境下での長期的かつフェイルセーフな動作をサポートします。

主な仕様:

AMAT純正仕様で、機械的・電気的に完全互換。改造不要でそのまま置き換え可能。
Coulomb式およびJohnsen-Rahbek（JR）ESCの両方式に対応。極性切替可能で柔軟なプロセス調整が可能。
省スペース設計で高効率（>85%）。既存の装置ラックへの容易な統合が可能。
標準DB9/DB15、RS-232/485、またはEthernetインターフェースに対応し、リモート監視、パラメータ設定、データロギングが可能。
AMAT Centura、Producer、Endura、Quantumシリーズ向けに厳格に試験・認定済み。長いMTBF（平均故障間隔）を実現。

用途:

エッチング装置: Centura、Producer、ExAL
成膜装置: Precision 5000、Endura（CVD/PVD/ALD）
イオン注入装置: Quantum Leap、Quantum X
200mm / 300mmウェーハファブ: 大量生産および保守

FAQ:

Q1:製品の状態と保証内容はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。当社チームによる全プロセス監視を行います。

Q5:梱包と安全性