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新品 AMAT 0190-14090 ESC電源装置

高精度で安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
0190-14090
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

AMAT ESC Power Supplyは、Applied Materialsの半導体装置における静電チャック（ESC）専用に設計された高電圧・高精度電源です。エッチング、成膜、イオン注入プロセス中にウェーハを確実に固定するため、安定した双極DC高電圧を供給し、極めて均一な温度およびプラズマ制御を実現します。重要なOEM交換部品として、AMATの200mm/300mmウェーハ処理システムと完全互換であり、高真空・高温・RFプラズマ環境において長期のフェイルセーフ動作をサポートします。

主な仕様:

AMAT純正仕様で、機械的・電気的に完全互換。改造なしでそのまま交換可能。
クーロン型およびジョンセン・ラーベック（JR）型ESCの両方に対応。柔軟なプロセス調整のため極性反転が可能。
高効率（85%以上）で省スペース設計。既存装置ラックへの容易な統合が可能。
リモート監視、パラメータ設定、データロギングのための標準DB9/DB15、RS-232/485、またはEthernetインターフェースを搭載。
AMAT Centura、Producer、Endura、Quantumシリーズシステム向けに厳格にテスト・認証済み。長いMTBF（平均故障間隔）。

用途:

エッチング装置: Centura、Producer、ExAL
成膜装置: Precision 5000、Endura (CVD/PVD/ALD)
イオン注入装置: Quantum Leap、Quantum X
200mm / 300mmウェーハファブ: 大量生産および保守

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性