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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350D-U01 デュアルアーム真空ウェハロボット

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
XU-RC350D-U01
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

日本製のYaskawaクラシック4軸デュアルアーム高真空ウェーハロボット。エッチング、成膜（デポジション）、イオン注入装置の真空チャンバー内での8/12インチウェーハ搬送用に設計されています。磁性流体真空シールを採用し、超低パーティクル発生、ミクロンレベルの繰り返し位置決め精度を実現。軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタと組み合わせています。整備・テスト済み在庫品あり、完全なテストレポート付き、グローバルDAP配送および専門のアフターサポート技術支援を提供可能。

主要仕様:

デュアル独立伸縮アーム、交互ウェーハピック＆プレースにより、ウェーハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブ生産能力を向上。
特殊な磁性流体シャフトシール構造。低アウトガスで、高真空環境下でも長期安定動作を実現し、厳格な半導体真空プロセス基準を満たします。
カーボンファイバー製ウェーハフォーク＋滑らかなS字サーボモーション制御、繰り返し位置決め精度±0.05mm、ウェーハ傷や粉塵汚染リスクを大幅に低減。
全機体にアウトガス対策材料を使用し、内部防塵を最適化。薄膜、エッチング、インプラントプロセス向け半導体クリーンルーム基準に完全準拠。
XU-RC350D-K01整備・テスト済みロボット在庫あり、3ヶ月保証、操作マニュアル、配線図、リモートトラブルシューティングサービスを提供。複数のグローバル配送オプション、輸入関税および現地ICMS税は購入者負担。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間保証付き。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS対応。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性