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新品 MKS DLTNA4-31020 DELTA IV 流量比コントローラー

高精度、安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
DLTNA4-31020
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

MKS DELTA IV（Delta IVとも表記）は、コンパクトで高精度な4ゾーン流量比コントローラ（FRC）であり、プロセスガスの流量を複数のゾーンまたはチャンバーに正確に分配・制御します。MKSの著名なDELTAシリーズの一部として、先進的な製造向けにクローズドループ比率制御を実現し、ウェハー、パネル、または基板全体で一貫したガス分配を保証します。エッチング、PECVD、スパッタリング、ALDプロセスに最適であり、DELTA IVは手動バルブや固定オリフィスの不安定性を排除し、優れた均一性とプロセス再現性を提供します。

主要仕様:

MKS DELTA IV 4ゾーン流量比コントローラ
高精度ガス分配：1入力 → 4制御出力
レンジ：500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm（各チャンネル）
比率精度 ±2%、再現性 ±0.3%
EtherCAT または DeviceNet デジタル通信
コンパクトな半導体グレード構造（5 μin Ra）

用途:

半導体：エッチング、PECVD、ALD、スパッタリング、ウェハーレベルの均一性制御
フラットパネル＆ディスプレイ：大面積プロセス向けの均一ガス分配
太陽光・PV：薄膜堆積、チャンバー流量バランシング
産業用真空：プラズマ洗浄、表面処理、マルチゾーンコーティング

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3–5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送＆追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。追跡番号＋リンクは発送後に提供されます。全プロセスを当チームが監視します。

Q5:梱包＆安全性