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新品 MKS DLTNA3-33135 DELTA IV フロー比コントローラー

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
DLTNA3-33135
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

MKS DELTA IV（Delta IVとも表記）は、複数ゾーンまたはチャンバーへプロセスガス流量を正確に分配・制御する、高精度でコンパクトな4ゾーン・フロー比コントローラー（FRC）です。MKSの有名なDELTAシリーズの一部として、先進的な製造向けにクローズドループ比制御を実現し、ウェーハ、パネル、または基板全体で一貫したガス分配を保証します。エッチング、PECVD、スパッタリング、ALDプロセスに最適で、DELTA IVは手動バルブや固定オリフィスの不安定性を排除し、優れた均一性とプロセス再現性を提供します。

主な仕様：

MKS DELTA IV 4ゾーンフロー比制御器
高精度ガス分配：1入力→4制御出力
レンジ：各チャンネル 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm
比率精度 ±2%、再現性 ±0.3%
EtherCAT または DeviceNet デジタル通信
コンパクト、半導体グレード構造（5 μin Ra）

用途：

半導体：エッチング、PECVD、ALD、スパッタリング、ウェーハレベル均一性制御
フラットパネル・ディスプレイ：大面積プロセスの均一ガス分配
太陽光・PV：薄膜成膜、チャンバー流量バランス調整
産業用真空：プラズマ洗浄、表面処理、多ゾーンコーティング

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要ですので、納期はカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性