説明:
MKSダイアフラムバルブは、高純度ガス、真空、および重要な流体プロセス産業向けに特別に開発された、精密設計のアイソレーションおよびスロットリング制御バルブです。MKSが半導体、真空コーティング、バイオテクノロジー、ファインケミカル分野で数十年にわたり培ってきた精密流体制御技術に由来しています。コアとなるダイアフラム隔離構造を採用し、柔軟なダイアフラムがプロセス媒体をアクチュエータおよび内部可動部品から完全に分離することで、外部漏れゼロ、超クリーンな流路、ならびに高精度な開閉および比例流量制御を実現します。MKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、プロセス制御システムと広く組み合わせられ、産業用流体ソリューション一式に対応します。
主な仕様:
- ダイアフラム隔離設計により外部漏れリスクを排除し、デッドスペースのない滑らかな内部流路が粒子の蓄積を防止し、超高純度ガスおよび衛生的生産基準を満たします。クリーンルームおよび半導体ウェハ製造に最適です。
- オプションのダイアフラム材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE。イナートガス、腐食性化学ガス、高純度液体、溶剤および低粘度スラリーに対応。-10℃から150℃までの動作温度に対応し、高温プロセスモデルにも適用可能です。
- 純正MKS制御ドライバおよび流量センサーと組み合わせることで、高精度な閉ループ流量/圧力調整を実現します。調整可能な流量範囲は0.1 sccm〜50000 sccmをカバーし、優れた低流量制御安定性を備え、最小制御可能流量はフルスケールの0.1%までです。
- 手動、ソレノイド電動、空圧作動(ノーマリーオープン/ノーマリークローズ)の各種アクチュエーションに対応。端部接続はVCR、KFフランジ、NPTねじ、ISO標準フランジに対応し、世界標準の配管仕様に適合します。
- ダイアフラムはバルブ全体を分解することなく迅速に交換可能です。コンパクトなオールインワン構造によりスペアパーツコストと装置ダウンタイムを削減し、頻繁な開閉動作条件下でも高い疲労耐久性を備えています。
- 工場出荷前に厳格なリークテストを実施しており、コーティング、蒸着、および薄膜成膜装置における高真空/超高真空配管のアイソレーション用途に適用可能です。
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、入金確認後3〜5営業日で出荷します。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に加え、強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。