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新品 MKS 253B-4-80-2 アングル排気スロットルバタフライバルブ

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
253B-4-80-2
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

米国製オリジナルのMKS製直角真空スロットルバタフライバルブ。高真空プロセスにおける精密な排気流量およびチャンバー圧力制御のために設計されています。独自の90°直角レイアウトによりキャビネット内設置スペースを節約し、高速ステッピングモーターと高分解能位置エンコーダを内蔵し、極めて安定したリニア圧力制御を実現します。ステンレス製バルブボディと低アウトガスシーリングを採用し、複数のフランジ規格に対応、アナログ/デジタル通信オプションも利用可能です。新品オリジナルおよび完全整備・テスト済みユニットを在庫、グローバルDAP配送および完全な技術資料サポートを提供します。

主な仕様:

垂直90度の気流設計により、水平配管の占有を大幅に削減し、コンパクトな半導体クラスターツールや真空キャビネット内への設置が容易です。
特許取得済みの非線形駆動機構がフラッパーの動きを最適化し、リニアな流量調整を実現、圧力オーバーシュートを最小限に抑え、安定して再現性の高いプロセスレシピを可能にします。
高トルクステッピングモーターを採用し、全開・全閉を200ms以内で実現。厚みを増したフラッパーにより粉塵の蓄積を防ぎ、エッチングおよび成膜などの腐食性ガス環境下でも長寿命を実現します。
フルステンレス製バルブボディと低アウトガスのフッ素ゴムシールにより高真空クリーンルーム基準を満たします。プロセスガスの凝縮を防ぐため、最大200℃対応の加熱バージョンもサポートしています。
複数のフランジオプション：ISO-KF、ISO-F、CF。0-10Vアナログ、RS232、EtherCAT、DeviceNet通信に対応。全モデル在庫あり、配線図・取扱説明書・リモート技術サポートを提供します。

よくある質問:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となります。納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSをご利用いただけます。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性