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新品 MKS 253B-15665 アングル排気スロットルバタフライバルブ

高精度、安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
253B-15665
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

米国製オリジナルのMKS製直角真空スロットルバタフライバルブ。高真空プロセスにおける精密な排気流量およびチャンバー圧力制御のために設計されています。独自の90°直角レイアウトによりキャビネット設置スペースを節約し、高速ステッピングモーターと高分解能位置エンコーダーを内蔵することで、極めて安定したリニア圧力制御を実現します。低アウトガスシールを備えたステンレス製バルブボディで、複数のフランジ規格に対応し、アナログ／デジタル通信オプションも利用可能です。新品オリジナルおよび完全再生・テスト済みユニットを在庫しており、グローバルDAP配送および完全な技術ドキュメントサポートを提供します。

主要仕様：

垂直90度エアフロー設計により、水平方向の配管占有を大幅に削減し、コンパクトな半導体クラスターツールや真空キャビネット内への設置が容易です。
特許取得の非線形駆動機構がフラッパーの動作を最適化し、リニアな流量調整を実現、圧力オーバーシュートを最小化し、安定した再現性の高いプロセスレシピを可能にします。
高トルクステッピングモーターにより、全開／全閉を200ms以内で実現。厚肉フラッパーが粉塵の蓄積を防ぎ、エッチングおよび成膜の腐食性ガス環境下でも長寿命を実現します。
フルステンレス製バルブボディ、低アウトガスのフッ素ゴムシールを採用し、高真空クリーンルーム基準を満たします。プロセスガスの凝縮を防ぐため、最大200℃までの加熱バージョンにも対応しています。
ISO-KF、ISO-F、CFなど複数フランジオプションに対応。0–10Vアナログ、RS232、EtherCAT、DeviceNet通信をサポート。全モデル在庫あり、配線図、取扱説明書、リモート技術サポートを提供します。

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。

Q2:お支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い確認後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要です。納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性