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新品 MKS 253B-15488 アングル排気スロットルバタフライバルブ

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中への迅速配送

商品番号:
253B-15488
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

米国製のMKS製オリジナル直角真空スロットルバタフライバルブで、高真空プロセスにおける精密な排気流量およびチャンバー圧力制御のために設計されています。独自の90°直角レイアウトによりキャビネット内の設置スペースを節約し、内蔵の高速ステッピングモーターと高分解能位置エンコーダーが超安定なリニア圧力制御を実現します。低アウトガスシールを備えたステンレス製バルブ本体で、複数のフランジ規格に対応し、アナログ／デジタル通信オプションも利用可能です。新品の純正品および完全再生・テスト済みユニットを在庫しており、世界向けDAP配送および完全な技術ドキュメントサポートを提供します。

主な仕様:

垂直90度エアフロー設計により水平配管の占有を大幅に削減し、コンパクトな半導体クラスター装置や真空キャビネット内への設置が容易です。
特許取得の非線形駆動機構がフラッパーの動作を最適化し、リニアな流量調整を実現、圧力オーバーシュートを最小化し、安定した再現性の高いプロセスレシピを可能にします。
高トルクステッピングモーターにより200ms以内で全開・全閉が可能；厚肉フラッパーが粉塵の堆積を防ぎ、エッチングおよび成膜の腐食性ガス環境下でも長寿命を実現します。
オールステンレス製バルブ本体、低アウトガスのフッ素ゴムシールを採用し、高真空クリーンルーム基準を満たします；プロセスガスの凝縮を防ぐため最大200℃までの加熱仕様に対応します。
複数のフランジオプション：ISO-KF、ISO-F、CF；0-10Vアナログ、RS232、EtherCAT、DeviceNet通信に対応。全モデル在庫あり、配線図、取扱説明書およびリモート技術サポートを提供します。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSをご利用いただけます。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性