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新品 MKS 20704A-26429 アングル排気スロットルバタフライバルブ

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
20704A-26429
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

米国製オリジナルMKS直角型真空スロットルバタフライバルブで、高真空プロセスにおける精密な排気流量およびチャンバー圧力制御用に設計されています。独自の90°直角レイアウトによりキャビネット設置スペースを節約し、高速ステッピングモーターと高分解能位置エンコーダを内蔵することで超安定したリニア圧力制御を実現します。低アウトガスシールを備えたステンレス鋼バルブボディで、複数のフランジ規格に対応し、アナログ／デジタル通信オプションも利用可能です。新品オリジナルおよび完全リファービッシュ済みのテスト済みユニットを在庫しており、グローバルDAP配送および完全な技術資料サポートを提供します。

主な仕様:

垂直90度の気流設計により、水平配管の占有を大幅に削減し、コンパクトな半導体クラスター装置や真空キャビネット内への設置が容易になります。
特許取得の非線形駆動機構によりフラッパーの動きを最適化し、リニアな流量調整を実現、圧力オーバーシュートを最小化し、安定した再現性の高いプロセスレシピを実現します。
高トルクステッピングモーターを搭載し、全開／全閉を200ms以内で実現。厚肉フラッパーにより粉塵の蓄積を防ぎ、エッチングおよび成膜の腐食性ガス環境下でも長寿命を実現します。
フルステンレス鋼バルブボディ、低アウトガスのフッ素ゴムシールを採用し、高真空クリーンルーム基準に適合。プロセスガスの凝縮を防ぐため最大200℃までの加熱バージョンにも対応しています。
複数のフランジオプション：ISO-KF、ISO-F、CF。0-10Vアナログ、RS232、EtherCAT、DeviceNet通信に対応。全モデル在庫あり、配線図、操作マニュアルおよびリモート技術サポートを提供します。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3～5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性