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新品 MKS 152E-P2 自動圧力排気バルブコントローラー

高精度、安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
152E-P2
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

MKS Type 152シリーズ自動排気バルブコントローラは、MKS Instrumentsによって開発された専用の閉ループ圧力制御ユニットで、すべてのMKS 253シリーズモータライズスロットル排気バルブと完全に連携します。

真空トランスデューサからリアルタイムの圧力信号を収集し、高性能PIDアルゴリズムで計算し、253スロットルバルブの開度を自動的に調整して真空配管のポンピング速度を変更し、プロセスチャンバー内の圧力を設定された目標値で安定的に保持します。

主要仕様:

業界標準のPID精密圧力安定化
多様な生産ニーズに対応する二重作業モード
完全な信号接続とリモート自動化対応
ソフトスタートおよび多重保護による安定運転
MKS真空コンポーネントとの完全なエコシステム連携

用途：

半導体ウェハ製造：プラズマエッチング装置、CVD成膜装置、PVDスパッタリングシステム、ウェハ洗浄用真空チャンバー
光電子・ディスプレイ産業：OLED/LCD薄膜コーティング、ガラス基板スパッタリング、光学レンズ真空コーティングライン
新エネルギー製造：薄膜太陽電池成膜生産ライン、電池材料真空加工装置
研究室・科学研究：高真空試験ベンチ、精密真空炉、材料表面処理実験プラットフォーム

よくある質問:

Q1: 製品の状態や保証はどうなっていますか？
A: 完全新品の正規品。1年間の保証付きです。

Q2: 支払条件はどうなっていますか？
A: T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどれくらいですか？在庫は十分ですか？
A: 標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日で発送。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4: 配送と追跡について
A: DHL/FedEx/UPSに対応。発送後に追跡番号とリンクを提供。弊社チームによる全工程の監視あり。

Q5: 梱包と安全性について