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新品 Lam Research 98008SA6F3P2 マスフローコントローラ

新品 Lam Research 98008SA6F3P2 マスフローコントローラ

新品 Lam Research 98008SA6F3P2 マスフローコントローラ

高精度で安定したパフォーマンス

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

  • 商品番号:

    98008SA6F3P2
  • 注文(MOQ):

    1
  • 支払い:

    100% T/T
  • 製品の起源:

    USA
  • 色:

    As Model
  • 出荷港:

    Xiamen
  • リードタイム:

    2-3 days
  • 製品詳細

説明:

LAM ResearchのMFCは半導体製造におけるミッションクリティカルなコンポーネントであり、LAMのエッチング、アッシング、成膜システムにおいてガス流量を卓越した精度で制御するよう設計されています。5nm~7nmノード製造の厳しい要求を満たすために構築されており、これらのコントローラーは一貫したガス供給を維持し、ウェハの均一性、歩留まり、プロセス安定性に直接影響します。フッ素系エッチングガス、希ガスキャリアガス、反応性成膜ガスのいずれに対しても、LAMのMFCは24時間365日のクリーンルーム環境で信頼性が高く再現性のある性能を提供します。
 
 
主な仕様:
  1. LAM Research OEMマスフローコントローラー(MFC)
  2. ±1%FSの精度、ナノスケールプロセス向け±0.1%の再現性
  3. レンジ: 10 sccm–10 slm;NF₃、HBr、O₂、N₂、Arに対応
  4. インターフェース: アナログ(0–5V/4–20mA)、DeviceNet、EtherCAT
  5. 接液部材質 316L SS/PTFE;1/4" VCR継手
 

 

主な用途:

  1. 半導体エッチング: 誘電体、導体、シリコンのエッチングプロセス(2300 Versys、TCP9600)
  2. 成膜(CVD/PVD): 先端ノード向け薄膜成膜
  3. プラズマ処理: アッシング、ストリッピング、表面処理
  4. ウエハ製造: 200mm/300mmファブ、5nm–7nmプロセス

 

 

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応です。

Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3~5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカーへの発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性

 

A:純正ブランド梱包に強化保護を施しています(フォーム、密封カートン、精密機器用の木箱)。防湿・耐衝撃仕様です。

 

 

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