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新品 Lam Research 853-800085-002 VMEシャーシ

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
853-800085-002
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

Original VME64x制御シャーシであり、Lam Researchのプラズマエッチャ（2300 KIYO、Exelan Flex、Versys、TCP 9600、Rainbowシリーズを含む）の中央制御ユニットとして機能します。6U 19インチラックマウント筐体として設計され、12スロットVME64xバックプレーンを備え、CPU、RFマッチ、真空I/O、モーション制御、EPDエンドポイント検出ボードを搭載し、エッチングレシピ、プラズマパラメータ、装置安全インターロックを管理します。

主な仕様:

エッチャ用のOEM Lam Research VMEシャーシ
対応機種: 2300 KIYO, Flex, Versys, TCP 9600, Rainbow
フォームファクタ: 6U、19インチラック、12スロットVME64xバックプレーン
搭載: CPU、RF、真空I/O、モーション、EPD制御ボード
精度: 1μsタイミング同期、±1%エッチングレート安定性
構造: ヘビーデューティーアルミニウム、EMIシールド付き、クリーンルーム対応

主な用途:

半導体ファブにおけるプラズマエッチングプロセス制御
200mm / 300mmウェハ製造（ロジック、DRAM、3D NAND）
大規模生産および先端ノードR&D

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPal対応。

Q3:納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。追跡番号とリンクは発送後に提供されます。弊社チームによる全工程モニタリング。

Q5:梱包と安全性