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新品 Lam Research 839-019090-620 ESC 静電チャック

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
839-019090-620
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

Lam Research Electrostatic Chuck (ESC)は、半導体真空プロセス装置の主要コンポーネントです。静電気力を利用してプロセスチャンバー内でウェハを確実にクランプし、エッチング、成膜などの製造工程中の安定した位置決めを保証します。高品質材料と精密構造で設計されており、均一なクランプ力、優れた熱伝導性、卓越した耐久性を提供します。高真空、高温、プラズマ環境下でも信頼性高く動作し、一貫したプロセス性能と高い生産歩留まりの維持に貢献します。純正OEMユニットは、Lam Researchのウェハ処理ツールとの完全な互換性を保証します。

主な仕様:

ウェハを確実に固定するため、均一で安定した静電保持力を提供し、動作中のずれを防止します。
最適化された熱伝導設計により、効果的なウェハ温度制御を実現し、均一なプロセス結果を可能にします。
高真空、広い温度範囲、プラズマ雰囲気に対応し、長期24時間365日の連続運転に適しています。
厳格な製造公差により優れた表面平坦度を保証し、先端半導体プロセスの要求を満たします。
Lam Researchのエッチング装置および成膜システムと完全互換で、設置・交換が容易でダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lam Researchプラズマエッチング装置
CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
200mm / 300mmウェハ真空プロセスチャンバー
半導体製造ラインおよび装置メンテナンス

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で出荷します。希少モデルはメーカー発注となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性