説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計されたオリジナルOEMのコアプリント基板アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ収集、電力分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- インピーダンス制御を備えた高品質マルチレイヤPCBレイアウトで、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合しています。
- 産業グレードの車載電子部品を使用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温環境および24時間365日の連続ファブ運用に対応します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485、およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイムの故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを備え、装置ダウンタイムの削減を実現します。
代表的な用途:
- Lamの主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyo series、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワー、およびウェハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1: 製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。
Q2: 支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4: 配送と追跡
A: DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。
Q5: 梱包と安全性
A:オリジナルブランドの梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。