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新品 Lam Research 810-800081-014 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
810-800081-014
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMコアプリント回路アセンブリです。装置の中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配およびシステム間通信を実行します。半導体クリーンルーム規格および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性能、耐振動性能、低ガス放出性能を提供し、真空プラズマ環境下で安定した長期運用を維持し、ウェハープロセスの精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅しており、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応します。
インピーダンス制御を備えた高級多層PCBレイアウト、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適合しています。
産業用グレードの自動車電子部品を使用し、動作温度範囲は-40°C～+85°C、厳格なESD保護設計により、高温・強プラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、24時間365日の連続ファブ運用に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用Lam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続が可能です。
過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティング用のデバッグポートを確保、装置の稼働停止時間を短縮します。

典型的な用途:

Lam主流のエッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェハ真空処理装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF出力、ウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロック、装置ホストとのデータ連携

よくある質問:

Q1: 製品の状況や保証はどうなっていますか？
A: 新品の正規品です。1年間の保証付き。

Q2: 支払い条件は？
A: T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A: 標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日で発送。希少モデルはメーカー発注が必要です。納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4: 配送および追跡について
A: DHL、FedEx、UPSに対応。出荷後に追跡番号とリンクを提供。弊社チームによる全工程モニタリングあり。

Q5: 梱包および安全性について