説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中核制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電源分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れたEMI耐性、耐振動性、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボード、およびセンサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- インピーダンス制御を備えた高級多層PCBレイアウトにより、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適合します。
- 産業グレードの車載電子部品、-40°C〜+85°Cの広い動作温度範囲、厳格なESD保護設計、強いプラズマ干渉下での安定性能、高温および24時間365日ファブ運転に対応。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用のLam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、およびサーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主流エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、およびウェハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロック、および装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証付き。
Q2:お支払い条件は何ですか?
A:T/T、PayPal対応。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS対応。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)。防湿・耐衝撃仕様。