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新品 Lam Research 810-495659-004 ESC電源ボード

高精度、安定した性能

産業自動化に適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-495659-004
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

これはLAM Research Electrostatic Chuck (ESC) 用の純正OEM電源基板であり、半導体エッチャーおよび成膜装置における重要部品です。真空チャンバー内で静電力によりウェーハを確実に保持するための安定した高圧直流電圧を供給します。高品質な電子部品と耐干渉回路設計により、高真空・高温・強いRF干渉下でも優れた性能を維持し、24時間365日の連続稼働においても一貫したウェーハ位置決めと安定した生産歩留まりを実現します。半導体ファブ設備のメンテナンス用として信頼性の高い交換部品です。

主要仕様:

LAM Researchのエッチング、CVDおよびPVD装置と完全互換。完全な適合のため厳密に工場テストおよびキャリブレーション済み。
超低リップルと安定した電流出力を特徴とします。クローズドループ制御によりRF干渉を補正し、一定のクランプ力を維持します。
過電圧、過電流、過熱およびアーク検出保護を搭載。ウェーハと装置を保護するため、電源を即座に遮断します。
過酷なクリーンルームおよび真空環境向けに最適化されており、振動・熱・電磁干渉に強く、長寿命を実現します。
標準構造と専用インターフェースにより直接交換が可能で、装置のダウンタイムとメンテナンスコストを大幅に削減します。

代表的な用途:

LAM Researchのプラズマエッチングシステム
CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
200mm / 300mmウェーハ真空処理チャンバー
半導体生産ラインの保守および予備部品交換

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。追跡番号とリンクは出荷後に提供されます。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性