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新品 Lam Research 790-022848-114 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
790-022848-114
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準と多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性および低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主要仕様:

本シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
インピーダンス制御を備えた高級多層PCBレイアウトにより、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合しています。
産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°Cと広く、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温環境および24時間365日のファブ連続稼働に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡および過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。

典型的な用途:

Lamの主力エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、入金確認後3〜5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー取り寄せが必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送・追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包・安全性