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新品 Lam Research 778-900046-343 温度制御基板

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
778-900046-343
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

Lam Research Temperature Control Boardは、半導体エッチング、成膜、およびウェハ処理システムにおける中核的な熱管理コンポーネントです。高精度なマルチチャネル温度制御を提供し、プロセスチャンバー、静電チャック（ESC）、およびウェハステージ全体で厳密な熱均一性を維持します。高真空、高温、およびプラズマ環境での24時間365日稼働向けに設計されており、安定したウェハ温度を確保し、プロセスレシピを安定化し、生産歩留まりを最大化します。純正のLam OEMボードは、プラグアンドプレイ互換性、精密なキャリブレーション、および先端ノード（2nm/3nm）半導体ファブにおける長期的な信頼性を保証します。

主な仕様:

オリジナルのLam Research PCBアセンブリで、Kiyoエッチャー、ExALプラットフォーム、およびCVD/PVDシステムと完全互換。工場でキャリブレーションおよびテスト済みで、シームレスな統合を実現。
16～24チャンネル（Pt100 RTD/熱電対入力）に対応；自動チューニングPIDアルゴリズムにより、25～150°Cの範囲で±0.1°Cの安定性を実現。
加熱/冷却（TEC互換）のクローズドループ制御；500Hzサンプリングによるリアルタイムセンサーフィードバック；周囲ドリフトおよびセンサー遅延の補償。
真空対応（≤1×10⁻⁶ Torr）、EMIシールド済み、耐振動設計；0～55°CでプラズマおよびRF干渉耐性を備え、安定して動作。
モジュール式のホットスワップ対応設計で迅速な交換が可能；温度、センサー健全性、および障害ログのオンボード診断機能を搭載；計画外ダウンタイムを削減。

主な用途:

Lam Researchプラズマエッチングシステム（Kiyo、ExAL、9000シリーズ）
CVD/PVD/ALD薄膜成膜装置
200mm / 300mmウェハプロセスチャンバーおよびESC
先端ロジック/メモリファブ（2nm/3nmノード）
半導体ファブの保守、スペアパーツおよびアップグレード

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:お支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫があり、お支払い後3～5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性