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新品 Lam Research 715-034799-001 マスフローコントローラー

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
715-034799-001
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research 光ファイバー分光計は、半導体ウエハー加工装置に統合された高精度の光学モニタリングデバイスです。主にプロフェッショナルな光学モジュールと組み合わせて使用され、光ファイバー伝送設計を採用し、プロセスチャンバー内のプラズマ発光、反射および透過スペクトルを取得します。エッチング終点検出、薄膜計測、リアルタイムのプラズマ状態モニタリングに広く使用され、これらのユニットは安定したプロセス性能を確保し、生産歩留まりを向上させ、エッチング、CVD、PVDおよびその他の真空製造プロセスにおける不良品を削減します。OEM互換の純正コンポーネントとして、LAMフルシリーズプロセスツールに対して優れた互換性と長期信頼性を備えています。

主な仕様:

高感度CCD/PMT検出器を搭載し、優れたスペクトル分解能と低ノイズを実現。UV-可視波長範囲をカバーし、多様な半導体プロセス監視ニーズに対応。
標準SMAファイバーインターフェースは長距離信号伝送をサポート。真空互換プローブは高真空・高温・プラズマ環境下でも安定動作。
リアルタイムスペクトル解析により、正確なエッチング終点判定、薄膜厚さおよび光学特性測定を実現し、過エッチングおよびアンダーエッチングを効果的に回避。
内蔵イーサネットおよびRS-232通信ポートを搭載し、LAM機器プロトコルと完全互換でシームレスなデータ連携とシステム統合を実現。
コンパクトで堅牢な構造で耐振動・耐干渉性能を備え、24/7連続稼働と現場での容易な交換をサポート。

代表的な用途:

プラズマエッチングシステム、CVD、PVDおよびALD薄膜堆積装置
ウェハーエッチングプロセスの終点検出
インサイチュ薄膜厚さおよび反射率測定
真空プロセスチャンバーのリアルタイムプラズマ状態分析
LAM Research 2300、9400、ExALおよびその他の主流プロセスプラットフォーム

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年保証付き。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日以内に発送。希少モデルはメーカー発注が必要で、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。追跡番号とリンクは発送後に提供。全プロセスを当社チームが監視。

Q5:梱包と安全性