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新品 Lam Research 685-801852-015 マスフローコントローラー

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
685-801852-015
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Researchの光ファイバ分光計は、半導体ウェーハ処理装置向けに統合された高精度の光学モニタリングデバイスです。主にプロフェッショナルな光学モジュールと組み合わせて使用され、プロセスチャンバー内のプラズマ発光、反射および透過スペクトルを取得するために光ファイバ伝送設計を採用しています。エッチングのエンドポイント検出、薄膜計測、およびリアルタイムのプラズマ状態モニタリングに広く使用され、これらのユニットは安定したプロセス性能を確保し、生産歩留まりを向上させ、不良品を低減します。エッチング、CVD、PVDおよびその他の真空製造プロセスにおいて活用されます。純正OEM互換コンポーネントとして、LAMフルシリーズプロセスツールに対して優れた互換性と長期信頼性を備えています。

主な仕様:

高感度CCD/PMT検出器を搭載し、優れたスペクトル分解能と低ノイズを実現しています。UV-可視波長範囲をカバーし、多様な半導体プロセス監視ニーズに対応します。
標準SMAファイバインターフェースは長距離信号伝送をサポートします。真空対応プローブは高真空・高温・プラズマ環境下でも安定して動作します。
リアルタイムスペクトル解析により、正確なエッチングエンドポイント判定、薄膜厚さおよび光学特性の測定が可能となり、オーバーエッチングおよびアンダーエッチングを効果的に防止します。
内蔵のEthernetおよびRS-232通信ポートにより、LAM機器プロトコルと完全互換でシームレスなデータ連携およびシステム統合を実現します。
コンパクトで堅牢な構造を持ち、耐振動・耐干渉性能を備えています。24時間365日の連続稼働をサポートし、現場での容易な交換が可能です。

代表的な用途:

プラズマエッチングシステム、CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
ウェーハエッチングプロセスのエンドポイント検出
その場（in-situ）薄膜厚さおよび反射率測定
真空プロセスチャンバーにおけるリアルタイムプラズマ状態解析
LAM Research 2300、9400、ExALおよびその他の主流プロセスプラットフォーム

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応です。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3–5営業日以内に出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性