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新品 AMAT Applied Materials 0190-22544 コントローラー

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
0190-22544
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

AMAT MKS-CITI（MKS-CITとも表記）は、半導体の真空およびガス供給システム向けに Applied Materials（AMAT）と MKS Instruments が共同開発した、コンパクトで高信頼性のプロセスおよび通信コントローラである。最も一般的な部品番号は 0190-22543（モデル AS00224-03、しばしば FI Controller Rev 002 と呼ばれる）。これは AMAT のプロセス装置（エッチング/CVD/PVD）と MKS のマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、バルブモジュール間のインターフェースとして機能し、真空および過酷なファブ環境下での精密なガス／流体制御を実現する。

主な仕様：

100 × 60 × 25 mm、約0.1 kg；金属筐体、振動／EMI耐性；動作温度範囲 −20°C ～ +70°C。
組み込み高速プロセッサ；16デジタル入力／8出力；圧力・流量のクローズドループ制御用アナログI/O。
標準で Modbus RTU/TCP、RS-485、DeviceNet を搭載；AMAT Centura/Endura との統合向けに Ethernet/IP および Profinet オプションあり。
低アウトガス材料を使用；CE、UL/cUL 60950、RoHS 準拠；内蔵診断およびエラー訂正機能。

用途：

AMAT Centura、Endura、AKT CVD システム
半導体エッチング、CVD、PVD、ALD プロセスチャンバー
MKS ガス流量制御（MFC）および圧力制御サブシステム
真空チャンバー I/O、ヒーターおよびバルブ制御ループ

FAQ：

Q1：製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A：新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、PayPalに対応しています。

Q3：商品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫があり、支払い後3～5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL／FedEx／UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5：梱包と安全性