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新品 AMAT Applied Materials 0190-16928 コントローラ

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
0190-16928
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

AMAT MKS‑CITI（MKS‑CITとも表記）は、Applied Materials (AMAT) と MKS Instruments が半導体用真空・ガス供給システム向けに共同開発した、コンパクトで高信頼性のプロセス＆通信コントローラです。最も一般的な部品番号は0190‑22543（モデルAS00224‑03、FIコントローラRev 002とも呼ばれることが多い）です。AMATのプロセスツール（エッチング/CVD/PVD）とMKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、バルブモジュールの間のインターフェースとして機能し、真空下および過酷なファブ環境での精密なガス/流体制御を保証します。

主な仕様:

100 × 60 × 25 mm、約0.1 kg；金属ケース、振動/EMI耐性；動作温度範囲 -20°C 〜 +70°C。
組み込み高速プロセッサ；デジタル入力16 / 出力8；圧力/流量の閉ループ制御用アナログI/O。
ネイティブModbus RTU/TCP、RS‑485、DeviceNet；AMAT Centura/Endura統合用にEthernet/IP & Profinetオプションあり。
低アウトガス材料；CE、UL/cUL 60950、RoHS準拠；組み込み診断およびエラー修正機能。

用途:

AMAT Centura、Endura、AKT CVDシステム
半導体エッチング、CVD、PVD、ALDプロセスチャンバー
MKSガス流量制御（MFC）および圧力調整サブシステム
真空チャンバーのI/O、ヒーター、バルブ制御ループ

よくある質問:

Q1: 製品の状態や保証はどうなっていますか？
A: 新品の正規品です。1年間の保証付き。

Q2: 支払い条件は何ですか？
A: T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A: 標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送。希少モデルはメーカー取り寄せが必要です。納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4: 配送と追跡
A: DHL/FedEx/UPS利用可能。出荷後に追跡番号とリンクを提供。全プロセスは当社チームが監視。

Q5: 梱包と安全性