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新品 AMAT Applied Materials 0100-09053 コントローラー

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中への迅速配送

商品番号:
0100-09053
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

AMAT MKS-CITI（MKS-CITとも表記）は、Applied Materials（AMAT）とMKS Instrumentsが共同開発した、半導体の真空およびガス供給システム向けのコンパクトで高信頼性のプロセス＆通信コントローラです。最も一般的な部品番号は0190-22543（モデルAS00224-03、FI Controller Rev 002と呼ばれることが多い）です。本製品は、AMATのプロセスツール（エッチング/CVD/PVD）とMKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、バルブモジュールとのインターフェースとして機能し、真空環境および過酷なファブ条件下で正確なガス／流体制御を実現します。

主要仕様:

100 × 60 × 25 mm、約0.1 kg；金属筐体、耐振動／EMI対策済み；動作温度範囲 -20°C～+70°C。
組み込み高性能プロセッサ；デジタル入力16点／出力8点；圧力／流量のクローズドループ制御用アナログI/O。
標準でModbus RTU/TCP、RS-485、DeviceNetに対応；AMAT Centura/Endura統合向けにEthernet/IPおよびProfinetオプションを提供。
低アウトガス材料を使用；CE、UL/cUL 60950、RoHS準拠；内蔵診断機能およびエラー訂正機能を搭載。

用途:

AMAT Centura、Endura、AKT CVDシステム
半導体エッチング、CVD、PVD、ALDプロセスチャンバー
MKSガス流量制御（MFC）および圧力制御サブシステム
真空チャンバーI/O、ヒーターおよびバルブ制御ループ

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3:商品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日以内に出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送および追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包および安全性