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新品 AMAT 0190-36793 ESC電源ユニット

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
0190-36793
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

AMAT ESC電源は、Applied Materialsの半導体装置における静電チャック（ESC）専用に設計された高電圧・高精度電源です。安定した双極性DC高電圧を供給し、エッチング、成膜、イオン注入プロセス中にウェハーを確実に固定し、超均一な温度およびプラズマ制御を実現します。重要なOEMスペアパーツとして、AMATの200mm/300mmウェハー処理システムと完全互換であり、高真空・高温・RFプラズマ環境下での長期的かつフェイルセーフな動作をサポートします。

主な仕様:

純正AMAT仕様で、機械的および電気的に完全互換。改造なしで直接交換可能。
クーロン型およびジョンセン・ラーベック（JR）ESCの両方式に対応。プロセス調整の柔軟性のため、極性反転が可能。
省スペース設計で高効率（85%以上）。既存の装置ラックへの容易な統合が可能。
標準DB9/DB15、RS-232/485、またはEthernetインターフェースにより、遠隔監視、パラメータ設定、データロギングが可能。
AMAT Centura、Producer、Endura、およびQuantumシリーズシステム向けに厳格な試験と認証済み。長いMTBF（平均故障間隔）。

用途:

エッチングシステム: Centura, Producer, ExAL
成膜システム: Precision 5000, Endura (CVD/PVD/ALD)
イオン注入装置: Quantum Leap, Quantum X
200mm / 300mmウェハーファブ: 大量生産およびメンテナンス

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号＋リンクを提供。全工程を当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性